삼성반도체이야기 #포토공정1 반도체 8대 공정 - 포토공정 포토공정 (Photo Lithography) - 웨이퍼 위에 반도체 회로를 그려넣는 공정 - 회로 패턴이 담긴 마스크 상을 빛을 이용해 비춰 회로를 그리는 공정 1. 회로설계 - 컴퓨터 시스템(CAD, computer-aided design)을 이용해 회로 설계 - 전자회로 패턴으로 설계되는 도면에 엔지니어들이 정밀회로를 설계에 담고 그 정밀도가 반도체의 집적도 결정 2. 포토마스크 제작 - 순도가 높은 석영(Quartz)를 가공해서 만든 기판 위에 크롬(Cr)으로 미세회로를 형상화 - 마스크는 Reticle이라고도 부르며, 회로 패턴을 담은 필름으로 사진 원판의 기능, 세밀한 패터닝을 위해 반도체 회로보다 크게 제작, 렌즈를 이용 빛을 축소해 조사 3. 감광액 도포 (PR, Photo Resist) -.. 2021. 2. 11. 이전 1 다음